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OLS4000

  • 所属分类:激光共焦显微镜
  • 浏览次数:5373次
  • 发布日期:2016/1/21 9:07:17
  • 产品概述

精益求精的测量性能

轻松检测尖锐角

采用了高N.A. 的专用物镜及能最大限度发挥405 nm 激光性能的专用光学系统,LEXT OLS4000可以准确的测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。

有尖锐角的样品(剃刀)
有尖锐角的样品(剃刀)
LEXT 专用物镜
LEXT 专用物镜

克服反射率的差异

LEXT OLS4000 采用了新开发的双共焦系统。由于配置了2 个共焦光学系统,那些一直以来使用激光显微镜难以测量的、含有不同反射率材料的样品,也能在LEXT OLS4000上获得鲜明的影像。

反射率有差异的样品(金刚石电镀工具)
反射率有差异的样品(金刚石电镀工具)
双共焦系统
双共焦系统

多层模式有利于透明层的测量

过去,激光显微镜焦点的位置都会设置在样品上反射光强度最大的区域。但是,这样的设计有时候会很难识别透明样品的正确形状,因为激光光束会直接穿过样品。LEXT OLS4000 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域,并将各层设为焦点,这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量,而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。

观察/测量透明材料的上表面
一般而言,使用激光扫描显微镜,很难对如金属基板上的透明膜等样品进行测量。而多层模式则可实现对此类透明膜样品的顶层进行观察和测量。

金属材料的表面涂层
Conventional mode传统模式

Multilayer mode多层模式

分析透明材料的各个层
多层模式也可以对透明样品的各层进行分析。例如,即使该样品是玻璃基板上的透明树脂涂层,也可测量出透明材料下那层的形状和粗糙度,当然也可以测量出表面覆膜的厚度。

金属基板上的聚酰亚胺覆膜
Polyimide film on a metal substrate

稳定测量环境

混合减震机构 为了排除来自外部的影响,稳定测量,LEXT OLS4000 机座内置了由螺旋弹簧和阻尼橡胶组成的"混合减震机构"。所以,可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子进行测量作业,不需要专用的防震平台。
受到来自外部的 振动的影响
受到来自外部的
振动的影响
混合减震机构减轻 振动带来的影响
混合减震机构减轻
振动带来的影响

两项性能确保

表示测量仪器的测量精度的,有2个指标。一个是测量值与真正值的接近程度(正确性),另一个则是多次测量值的偏差程度(重复性)。LEXT OLS4000是世界首台确保了"正确性"和"重复性"的激光显微镜

2个性能保证
2个性能确保

OLS4000从镜头制造到成品全部在奥林巴斯工厂完成,并按照一系列标准严格检查后出厂。交付产品时的校正和最后的调整,由选拔出来的技术人员在实际使用环境中执行。

更加真实的再现微小凹凸

微分干涉观察是超越了激光显微镜的分辨率、可以观察到纳米以下微小凹凸的观察方法。LEXT OLS4000 通过安装在物镜上方的DIC 分光棱镜,将照明光横向分为两束光线来照射样品。获取由样品直接反射回来的两束光线的差,生成明暗对比,从而实现对微小凹凸的立体观察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉观察,即使是低倍率的动态观察,也能得到接近电子显微镜分辨率的影像。

有DIC(高分子薄膜)
有DIC(高分子薄膜)
无DIC(高分子薄膜)
无DIC(高分子薄膜)

对应大范围观察

在高倍率影像观察中,视场范围会变窄。LEXT OLS4000 搭载了拼接功能,最多可拼接500 幅影像,从而能得到高分辨率和广视场范围的影像数据。不仅如此,LEXT OLS4000 还能对该广视场影像进行3D 显示和3D 计测。

拼接前的影像
拼接前的影像
拼接后的亮度影像
拼接后的亮度影像
拼接后的3D 影像
拼接后的3D 影像

理想的操作环境

通过ID 管理来强化自定义和安全性

登录系统画面
登录系统画面
操作员可以使用自己的ID 登录系统,对影像数据库和操作环境进行自定义。报告和影像上会显示ID 号码,这样,谁、何时创建或拍摄等信息便一目了然。此外,还可以对每个ID 设置级别,管理者可以自由分配各操作员的操作范围和功能范围。

即使是初次使用者也能安心操作的向导功能

LEXT OLS4000 搭载了详细的向导功能,即使是初次使用者也能立即操作仪器,不需要在阅读使用说明书或培训上花费时间。也可以对向导功能进行自定义。

向导功能
向导功能

自动测量功能* 实现高效连续的测量

每个对象反复进行固定方式的测量时,可以准确而高效地工作。如果重复测量的次数很多,就更需要该功能了。自动测量功能(可选项)通过预先设置条件,从样品的校准到获得测量结果,一系列操作都能轻松完成
* 自动测量功能是可选功能。

自动测量功能
自动测量功能

不会在观察中"迷路"的宏观图。

一直以来,由于高倍率观察时的视场变窄,经常会有不知道在观察样品的哪一部分等情况发生。LEXT OLS4000 搭载了宏观图功能,始终显示低倍率观察时的大范围影像,在影像上指出"现在在这里"。

宏观图功能
宏观图功能

避免接触和损坏样品、自动调整影像的电动物镜转换器

电动物镜转换器
电动物镜转换器
为了避免切换物镜时损坏样品,LEXT OLS4000 搭载了标准配置的电动物镜转换器。切换物镜时,物镜转换器自动退避,不会接触样品。不仅如此,电动物镜转换器还能同时自动对准焦点和影像中心,调整合适的亮度,实现了轻松的倍率变换操作。

能提供熟练操作者描绘水平的INR 算法

奥林巴斯根据长年积累的经验和技术,成功的在设备中嵌入了相当于熟练操作者水平的异常值判断基准。这就是新搭载在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作仪器的操作员也能轻松获得与熟练操作者一样水平的影像。

使用INR算法
使用INR算法
不使用INR算法
不使用INR算法

实现了创建报告时必需的快速和简明易懂

激光显微镜可以代替相关人员,快速而清楚地把观察和测量结果制作成报告。LEXT OLS4000在测量结束后,只要一个点击就可以完成创建报告任务。同时,LEXT OLS4000 还备有充实的编辑功能,可以自由自在地定制各种报告模板。

报告用户界面
报告用户界面
报告完成版本
报告完成版本

卓越的粗糙度分析能力

将激光纳入表面粗糙度测量仪的标准中

粗糙度测量画面
粗糙度测量画面
作为表面粗糙度测量仪的新标准,奥林巴斯开发了LEXT OLS4000。对LEXT OLS4000 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在LEXT OLS4000上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离最长为100 mm 的粗糙度。

OLS4000与接触式表面粗糙度测量仪的测量截面曲线比较(截面全长1.6 mm)

LEXT OLS4000 测量所得的截面曲线, λs=2.5 μm 未处理
LEXT OLS4000 测量所得的截面曲线,
λs=2.5 μm 未处理
LEXT OLS4000 测量所得的截面曲线, 采用λs=2.5 μm 处理
LEXT OLS4000 测量所得的截面曲线,
采用λs=2.5 μm 处理

接触式表面粗糙度测量仪测量所得的截面曲线
接触式表面粗糙度测量仪测量所得的截面曲线

参数一览

LEXT OLS4000 轮廓曲线参数一览
LEXT OLS4000 轮廓曲线参数一览

LEXT OLS4000 表面粗糙度测量参数一览(符合ISO25178 草案)
LEXT OLS4000 表面粗糙度测量参数一览(符合ISO25178)

微细粗糙度

使用接触式表面粗糙度测量仪,无法测量比触针的针尖直径更细微的凹凸。而激光显微镜有着微小的激光焦斑直径,所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。

接触式表面粗糙度测量仪
接触式表面粗糙度测量仪

激光显微镜
激光显微镜

非接触

使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时,样品容易受到触针损伤而变形。另外,带有粘性的样品会粘在触针上,无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜,不会被样品的表面状态所影响,可以准确的测量样品的表面粗糙度。

柔软的样品
柔软的样品

带有粘性的样品
带有粘性的样品

细微处也可以测量

使用接触式表面粗糙度测量仪,其触针无法进入微小领域,所以不能对微小领域进行测量。而激光显微镜可以正确定位,能轻松测量出特定微小领域的粗糙度。

焊线
焊线

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